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無(wú)塵車間潔凈度等級(jí)劃分標(biāo)準(zhǔn)

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人氣：-發(fā)表時(shí)間：2015-10-31 09:21【大 中 小】

ISO 14644的本部分指定ISO分級(jí)的各級(jí)別,以此作為潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境內(nèi)空氣潔凈度的技術(shù)要求.本部分不僅確定了空氣中懸浮粒子測(cè)試的程序,而且確定了測(cè)試的標(biāo)準(zhǔn)方法.

為劃分等級(jí),ISO 14644的本部分僅限于確定粒子濃度限值用的指定的粒徑范圍.本部分還提供了標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議,以依據(jù)大于或小于指定分級(jí)用粒徑范圍的懸浮粒子濃度等級(jí)標(biāo)識(shí).  

ISO 14644的本部分為無(wú)塵車間和污染控制系列標(biāo)準(zhǔn)中的一個(gè)標(biāo)準(zhǔn).除懸浮粒子潔凈度之外,還有許多因素必須在潔凈室及其受控環(huán)境的設(shè)計(jì)、技術(shù)要求、運(yùn)行和控制中予以考慮.

ISO 14644-1潔凈室和潔凈區(qū)按空氣中懸浮粒子濃度的分級(jí)（國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)）

空氣潔凈度等級(jí)（N）

大于或等于所標(biāo)粒徑的粒子最大濃度限值（個(gè)/每立方米空氣粒子）

0.1 um

0.2 um

0.3 um

0.5um

1um

5 um

ISO Class 1

10

2





ISO Class 2

100

24

10

4

ISO Class 3

1000

237

102

35

8

ISO Class 4

10000

2370

1020

352

83

ISO Class 5

100000

23700

10200

3520

832

29

ISO Class 6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

ISO Class 7


352000

83200

2930

ISO Class 8


3520000

832000

29300

ISO Class 9


35200000

8320000

293000

注：由于涉及測(cè)量過程的不確定性，故要求用不超過三個(gè)有效的濃度數(shù)字來(lái)確定等級(jí)水平。

空氣潔凈度分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)： GB/T16292-1996 （中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)）

潔凈度級(jí)別

塵埃最大允許數(shù)/立方米

微生物最大允許數(shù)

≥0.5um

≥5um

浮游菌/立方米

沉降菌/皿

100級(jí)

3500

0

5

1

10000級(jí)

350000

2000

100

3

100000級(jí)

3500000

20000

500

10

300000級(jí)

10500000

60000

—

15

各種國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的比較：

美國(guó)聯(lián)邦

美國(guó)聯(lián)邦

英國(guó)標(biāo)準(zhǔn)

澳大利亞標(biāo)準(zhǔn)

法國(guó)標(biāo)準(zhǔn)

德國(guó)標(biāo)準(zhǔn)

國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)

日本標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn) 209D

標(biāo)準(zhǔn) 209E

BS5295

AS1386

AFNORX44101

VDI2083

14644-1

JACA24







1

1





—

0

2

2

1

M1.5

C

0.035

—

1

3

3

10

M2.5

D

0.35

—

2

4

4

100

M3.5

E

3.5

4000

3

5

5

1000

M4.5

G

35

—

4

6

6

10000

M5.5

J

350

400000

5

7

7

100000

M6.5

K

3500

4000000

6

8

8



M



7

9

—

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境保證空氣中懸浮粒子被控制在合適的級(jí)別,以確保完成對(duì)污染敏感的有關(guān)活動(dòng).以下行業(yè)的產(chǎn)品和工藝均得益于空氣中懸浮污染物的控制：航天、微電子、醫(yī)藥、醫(yī)療器械、食品和保健品.