目前，潔凈車(chē)間已廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)的產(chǎn)品生產(chǎn)或其他要求防止粒子污染、微生物污染的環(huán)境控制，由于各行各業(yè)的產(chǎn)品特性不同、各種產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝不相同，使用要求不同，因此要求控制環(huán)境的內(nèi)容、指標(biāo)均不會(huì)相同。所謂無(wú)塵車(chē)間的環(huán)境控制的內(nèi)容應(yīng)該包括：空氣凈化、潔凈建筑、與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學(xué)品和生產(chǎn)設(shè)備、工器具等的污染物控制以及微振動(dòng)、噪聲、靜電的控制、防止等。所以無(wú)塵車(chē)間的設(shè)計(jì)不僅要求對(duì)室內(nèi)的空氣進(jìn)行凈化達(dá)到規(guī)定的空氣潔凈度等級(jí)，還必須防止因無(wú)塵車(chē)間的建造用材料、裝飾方式不當(dāng)帶來(lái)的污染，有的無(wú)塵車(chē)間還要求供給超純水、超純氣體和高純的化學(xué)品等。

1、半導(dǎo)體集成電路要求的空氣潔凈度等級(jí)

集成電路生產(chǎn)環(huán)境要求的空氣潔凈度等級(jí)主要取決于集成電路的集成度，不同工序的空氣潔凈度等級(jí)是依據(jù)可能污染的概率和對(duì)器件的潛在故障確定的。

舉例說(shuō)明：

例一、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)按加工、生產(chǎn)6英寸硅片、1M集成電路，圖形特形尺雨1.0um，控制粒子粒徑0..1um.

無(wú)塵車(chē)間空氣潔凈度等級(jí)要求：

光刻、勻膠區(qū) ISO 3級(jí)

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴(kuò)散等操作區(qū) ISO 3級(jí)

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴(kuò)散等維修區(qū) ISO 5級(jí)

例二、某廠集成電路前工序潔凈廠房，無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)按加工、生產(chǎn)5英寸硅片、256K集成電路、圖形特形尺雨2.0um，控制粒子粒徑0.2um.

無(wú)塵車(chē)間空氣潔凈度等級(jí)要求：

光刻、勻膠區(qū) ISO 3級(jí)

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴(kuò)散等操作區(qū) ISO 4級(jí)

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴(kuò)散等維修區(qū) ISO 6級(jí)

2、一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級(jí)

隨著信息產(chǎn)業(yè)技術(shù)的發(fā)展，許多電子產(chǎn)品性能、質(zhì)量的提高和生產(chǎn)過(guò)程的微細(xì)化，日益要求生產(chǎn)環(huán)境具有一定的空氣潔凈度等級(jí)和控制無(wú)塵車(chē)間內(nèi)工藝生產(chǎn)所需的各類(lèi)高純物質(zhì)的供給質(zhì)量，目前國(guó)內(nèi)外還沒(méi)有統(tǒng)一電子產(chǎn)品的空氣潔凈度等級(jí)或生產(chǎn)環(huán)境控制要求的統(tǒng)一規(guī)定，各種電子產(chǎn)品的生產(chǎn)廠家依據(jù)其生產(chǎn)的產(chǎn)品品種、所采用的生產(chǎn)工藝技術(shù)、生產(chǎn)工藝設(shè)備、生產(chǎn)用原輔料以及無(wú)塵車(chē)間運(yùn)行的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)確定設(shè)計(jì)建造無(wú)塵車(chē)間的空氣潔凈度等級(jí)。

舉例說(shuō)明：

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