潔凈室性能衡量因素之氣流介紹

潔凈室內(nèi)的潔凈度會受到氣流的影響，通俗來講，潔凈工程中的設(shè)備、人員等產(chǎn)生的微粒子出現(xiàn)移動或擴(kuò)散都是由氣流造成。

潔凈室過濾是采用HEPAEA或是ULPA的方式，將污染物進(jìn)行過濾，一般可達(dá)到99%的過濾效果。我們都知道，潔凈工程的潔凈區(qū)對潔凈度的要求十分嚴(yán)格，一旦出現(xiàn)污染，工藝或是產(chǎn)品的質(zhì)量都會受到影響。也就是說， 因室內(nèi)的設(shè)備、使用材料、工作人員等產(chǎn)生微粒子等污染后會迅速影響整個潔凈區(qū)。所以，為了保證室內(nèi)潔凈度，必須利用氣流將污染物排出室外。

潔凈工程對氣流速度的有著很嚴(yán)格的要求，美克威爾就以潔凈室為例，為大家詳細(xì)介紹。

對于亂流式潔凈室減少室內(nèi)污染主要是通過空氣的稀釋作用來完成的，因此，一般不用速度而是用換氣數(shù)來說的。但是，對潔凈室潔凈工程中的氣流速度也是有要求：

1.和單純空調(diào)房間相比，送風(fēng)口的出口處氣流不要太大。

2.吹過水平面的氣流速度不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0.2m/s。

潔凈工程中凈化效果的如何，要看每步流程是否達(dá)標(biāo)，只有全方面考慮到，才能達(dá)到預(yù)期的效果。

風(fēng)速的控制

潔凈室內(nèi)的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區(qū)域，易受人、機(jī)器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高，將影響運轉(zhuǎn)成本的增加，所以應(yīng)在滿足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時，能以最適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供應(yīng)以達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。

另一方面欲達(dá)到潔凈室潔凈度之穩(wěn)定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無法保持，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會延著壁面發(fā)生渦流作用，此時要實現(xiàn)高潔凈度事實上很困難。

垂直層流式方向要保持均一氣流必須：(a)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；(b)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般潔凈室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。

影響因素

影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設(shè)備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點，亦應(yīng)列入考慮因素。

一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點，應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至鳎藭r大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。

潔凈室內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少最低；組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。

由此可見，潔凈工程中氣流是衡量潔凈室性能的重要因素之一，建設(shè)企業(yè)控制好氣流是關(guān)鍵。