凈化車間內(nèi)該如何防止微粒子污染呢？應遵守下列四項基本原則：

一、不攜入

在潔凈車間內(nèi)不攜入微粒子的方法有：

1）作業(yè)員進入潔凈車間前，機臺、零件攜入前應進行清潔處理；

2）進入潔凈車間者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。

3）通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進入潔凈車間。

4）機器及材料帶進潔凈車間前，應盡可能在密封狀態(tài)下帶進潔凈車間前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風淋室吹淋后才進入潔凈車間。

5）潔凈車間中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

二、不制造

在控制最大污染源--人在凈化車間內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時，也應控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動時，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵，而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到最小限度應采取以下對策：

1）減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài)；

2）采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)；

3）采用發(fā)塵小的潤滑油；

4）機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。

三、不儲備

若能徹底實施“不攜入”技術，潔凈室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動，在廣大的潔凈車間內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術快速地在過濾器中應用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動及不穩(wěn)定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。